MOCVD（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）亦即在薄膜原料中使用有機金屬來促進結晶成長的設備，目前幾乎都是由化合物半導體的廠商導入，其他則還有研究機構、大學或是部份化合物半導體設備廠商也有導入。此外，因為主要應用在GaAs（砷化鎵）以及Inp（磷化銦）上，因此，與記憶體或是邏輯產品的MOS設備之間區隔出不同的市場。...
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