表1為各種主要微細加工技術的特點比較，可以看出每種微細加工技術都有其特長與限制，並沒有一種最佳的微加工技術。選擇加工方式與傳統加工製程規劃相同，必須考慮元件材料、尺寸、形狀、精度、應用範圍、成本等。也由於沒有一樣微加工技術可以涵蓋所有需求，所以整合各種技術特長，將其優缺互補，規劃出複合微細加工製程，將會是未來微系統領域的發展重點之一。...
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