薄膜結晶成長技術之一的磊晶成長，就是一種在底層的結晶基板上堆積出相同結晶結構的技術，這項技術可分類為（1）固相磊晶（SPE：Solid Phase Epitaxial）、（2）液相磊晶（LPE：Liquid Phase Epitaxial）與（3）氣相磊晶（VPE：Vapor Phase Epitaxial)。其中第（3）項的VPE，還可分類為屬於化學氣相法的鹵素氣相磊晶與有機金屬氣相磊晶沉積（M...
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