漢微科於2003年，集結研發團隊，成功開發出全球第一台「電子束缺陷檢測設備(E-beam Inspection Tool )」，以獨家的跳躍式掃描檢測及穩定的電子槍技術領先全球。2016年6月，漢微科與荷商艾司摩爾(ASML)簽署股份轉換契約，總交易金額約新台幣1,000億元，於2016年底前完成購併案，屆時漢微科將下櫃。這起收購案正是前段高階微影製程與後段元件臨界尺度(critical dimension, CD)高階檢測之最佳結合案例。
一、前言
二、全球半導體檢測設備產業動向
三、漢微科併購之影響
四、結論與建議
圖1 2015年全球半導體檢測設備廠商營收市佔率分配圖
表1 半導體檢測設備領域類別一覽表