奈米壓印技術因其只要使用單次之微影步驟，即可在大面積的基板上，以單一模具重複進行相同奈米圖樣(Nano Pattern)轉移與奈米結構之製作，有低成本、高產出的潛在優勢，與半導體原本的微影製程相比步驟也減少許多，為具有未來發展性的一種技術；同時其應用的範圍廣泛，包括奈米電子、光學元件、高密度儲存裝置、奈米電磁裝置、生物裝置、感測器及奈米機電元件等之製作，均可使用奈米壓印技術取代，但是奈米壓印技術的...
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